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  • 价格:¥19.10RMB
  • 微传感器设计、制造与应用

  • 作  者: 刘广玉 编著
    出 版 社: 北京航空航天大学出版社
    出版时间: 2008年2月
    字  数:
    版  次: 0
    页  数: 0
    开  本: 16开
    印  次: 0
    纸  张: 胶版纸
    I S B N :
    包  装: 平装
    星  级: 暂无人评价
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书刊介绍

本书主要内容是,对基于压阻效应、电容效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理、材料、设计、制造、应用和发展进行了深入系统的讨论,包括对压力、加速度、角速度、纳米尺度和图像生成等的测量与性能分析。全书内容丰富,重理论也重应用,各章后配有思考题。
本书适合用作高等学校相关专业微机械传感器课程的教材,也可供从事微机械传感器研究的工程技术人员参考。 第1章 微传感器概论
1.1 微传感器优特点
1.2 微传感器弱信号检测技术
1.3 微传感器分类
1.4 现状与未来
1.5 本书讨论内容
思考题
第2章 微传感器与材料
2.1 概述
2.2 硅及其化合物材料
2.3 化合物半导体材料
2.4 光导纤维
2.5 熔凝石英
2.6 金刚石材料
2.7 压电材料

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