微传感器是在微机械电子系统技术基础上发展起来的一类新型传感器。微传感器具有体积小、重量轻、易于批生产、成本低等特点，在许多领域得到了越来越广泛的应用。许多常规传感器不能胜任的工作。通过使用微传感器可以很好地完成。微传感器已经成为21世纪传感器的重要发展方向。

本书主要从普及的角度系统地介绍了各类微型传感器的基本原理，包括力与压力微传感器、速度与加速度微传感器、热微传感器、磁微传感器、化学微传感器、生物微传感器、光电微传感器、以及声表面波传感器。此外还大量介绍了微传感器的典型的应用。本书的特点主要是内容系统全面、信息量大，涉及机电、光、热、磁、化学、生物等方面，有助于读者对微传感器有一个比较全面的了解。

本书可供从事机械电子、自动控制、仪器仪表、传感器及其应用等有关方面的工程技术人员使用，同时也可供科研院所、设计部门以及大专院校的有关师生参考。

第1章 引言

1.1 传感器

1.2 传感器的发展

1.3 微传感器

第2章 微机电系统基础

2.1 微机电系统定义

2.1.1 基础理论

2.1.2 技术基础

2.1.3 应用研究

2.2 微机电系统材料

2.2.1 硅

2.2.2 形状记忆合金

2.2.3 压电材料／电致伸缩材料

2.2.4 磁致伸缩材料

2.2.5 电流变体

2.2.6 凝胶

2.3 微机电系统的主要工艺

2.3.1 硅微加工

2.3.2 键合技术

2.3.3 LIGA技术

2.3.4 准分子激光技术

2.3.5 特种精密加工技术

第3章 力和压力微传感器

3.1 力微传感器

3.1.1 应变式力微传感器

3.1.2 压电式力微传感器

3.2 压力微传感器

3.2.1 压阻式压力微传感器

3.2.2 电容式压力微传感器

3.2.3 谐振式压力微传感器

3.3 摩托罗拉X型硅压力微传感器

3.3.1 结构形式

3.3.2 分类

3.3.3 封装形式

3.4 应用实例：微型高度计

第4章 加速度和角速度微传感器

4.1 加速度微传感器

4.1.1 加速度微传感器工作原理

4.1.2 压阻式加速度微传感器

4.1.3 电容式加速度微传感器

4.1.4 谐振式加速度微传感器

4.1.5 伺服式加速度微传感器

4.1.6 隧道型加速度微传感器

4.1.7 加速度微传感器的应用

4.2 角速度微传感器

4.2.1 微机械陀螺的原理、分类与性能

4.2.2 音叉式微机械陀螺

4.2.3 框架式微机械陀螺

4.2.4 振动轮式微机械陀螺

4.3 微惯性测量组合

第5章 热微传感器

5.1 微型热电偶

5.1.1 热电效应

5.1.2 接触电动势

5.1.3 温差电动势

5.1.4 薄膜热电偶

5.2 半导体结的热微传感器

5.2.1 二极管温度传感器

5.2.2 晶体管温度传感器

5.2.3 集成温度传感器

5.3 热敏电阻型微传感器

5.3.1 热敏电阻参数

5.3.2 PTC热敏电阻

5.3.3 NTC热敏电阻

5.3.4 CTR热敏电阻

第6章 磁微传感器

6.1 霍尔效应传感器

6.1.1 霍尔效应

6.1.2 霍尔效应传感器

6.2 磁阻传感器

6.2.1 磁阻效应

6.2.2 磁阻元件

6.2.3 磁敏电阻的温度补偿

……

第7章 化学微传感器

第8章 生物微传感器

第9章 光电微传感器

第10章 声表面波传感器

第11章 微传感器的应用